九游会j9娱乐平台官网:英飞凌请求晶体管器材和制备晶体管器材的栅极的办法专利在横向上环绕单元场的边际停止区

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  国家知识产权局信息数据显现,英飞凌科技奥地利有限公司请求一项名为“晶体管器材和制备晶体管器材的栅极的办法”的专利,公开号CN121793409A,请求日期为2021年2月。

  专利摘要显现,公开了晶体管器材和制备晶体管器材的栅极的办法。在施行例中,晶体管器材包含具有主外表的半导体衬底、包含多个晶体管单元的单元场、以及在横向上环绕单元场的边际停止区。单元场包含在半导体衬底的主外表中的栅极沟槽、衬垫栅极沟槽的栅极电介质、被安置在栅极沟槽中在栅极电介质上的金属栅极电极、以及被安置在金属栅极电极上并且在栅极沟槽内的电绝缘封盖。

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